GBT 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

ＧＢ／Ｔ１８９９４－２００３月吐吕本标准对应于国际半导体设备与材料组织ＳＥＭＩＣ３．３２；１９９５《纯度为９９．９９６％的氯标准》（英文版），本标准与ＳＥＭＩＣ３．３２；１９９５的一致性程度为非等效，主要技术差异如下：—质量指标中增加了对湿度的要求；—对金属杂质的要求改为由用户和供应商之间商定；—检验方法中根据我国的实际水平做了...